SJT 10315-1992 四探针探头通用技术条件
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ID： |
6F458B52AE15474DB50530D02851E000 |
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文件大小(MB)： |
0.21 |
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页数： |
11 |
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文件格式： |
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日期： |
2009-6-11 |
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SJ,中华人民共和国电子行业标准,sJ/T 10315-92,四探针探头通用技术条件,Generic specificationo f.Fo ur-pointp robe,1992-06-15发布1992-12-01实施,中华人民共和国机械电子工业部发布,中华人民共和国电子行业标准,SJ/T 10315-92,四探针探头通用技术条件,Generic Specification of Four一point probe,主题内容及适用范围,本 标 准 规定了四探针探头(以下简称探头)的术语、技术要求、测试方法、检验规则、标志、,包装、运输、贮存要求等,本 标 准 适用于电子和冶金等行业所使用的四探针法测试半导体棒、片、薄层以及金属薄层,的电阻率、薄层电阻和电阻的探头,本 标 准 与SJ/T 10314《直流四探针电阻率测试仪通用技术条件))标准配套使用,弓!用标准,SJ/T 10314 直流四探针电阻率测试仪通用技术条件,GB 191 包装储运图示标志,Si 1889 电子测量仪器可靠性试验方案,术语及公式,以 下 名 词及公式均采用本标准的定义,3.1 四探针探头,用 耐 磨 的金属线材，一端加工成一定锥度和曲率半径作为针尖的四根针形探针，使四个针,尖顶端处在同一平面内，按一定排列形式组装在一起，并有四根导线与其各自相连，可在其上,施加电流或测量电压的组合件,探 针 排 列一般为等间距的直线形排列或正方形排列,3.2 探针间距S,相 邻 两 探针中心轴线的距离。其确定方法是测量探针在被测样品上的压痕，按公式(1)计,算得出。图示出直线形排列的探针间距确定方法，正方形排列的探针间距可参照此方法确定,中华人民共和国机械电子工业部1992-06-15批准1992-12-01实施,一 1 一,S.1/T 10315- 92,直线形排列的四探针头压痕(一组)测量位置图,圆心座标:,A + B,口‘今一不2- 02,C + D,2,E + F,2,O,G + H,2,探针间距:,S,= O,一O,=,S,= O:一O,=,S: 二 O 。 一 O , ,3.2.1 探针间距的平均值瓦,(C+2D卜(A+2 B),(E+F 2卜(C 2 D),(G+2H)一(E+2F),同一探头，相同两相邻探针十次压痕测量计算出探针间距值的平均值,直线形排列的四探针头，其探针间距的平均值为:,o-,一10睿Sil,一,‘2一110云szj,33一10j-,oS aj {,式中:J- 测量组数，j=1,2,3 10,3.2. 2 平均探针间距S,对 于 等 间距的探头，各探针间距的平均值的算术平均值,对 于 直 线形排列的探头，平均探针间距为:,3一告(‘;+“:+3') (3),3 针尖压痕尺寸,探针 与样品接触形成的压痕在x轴方向上最大尺丸,一2 一,SJ/T 10315-92,d,= }B一A},d:二}D一Cl,d,= IF一E},d。二}H 一G,3.4 探针系数C,由 于探 针 间距和其排列方式的不同而引入的系数称为探针系数C.,3.4门当探针针尖处于同一平面，探针轴线也处于同一平面(以下简称直线形排列)时，其间,距为S S S:时:,C= : 二( 1 一份 1~ 一一 一 1 一 1 ) - 1 . . .(5),一 ‘ 、5 1 5: + S , Sz + S , S ,3.4.2 当探针轴线处于正方形的四个顶角(以下简称正方形排列)，其相邻两探针间距为等距,离S时.,C 二 2a S/ (2 一 丫.厄 ) (6 ),注:①、公式(5)适用于WS大于;的样品(w是样品厚度),) ,C 的 单 位 为 c m,3. 5 探针间距修正系数F.,对于 等 间距探头，实际探针间距不等而引入的修正系数,3.5.1 对于直线形排列的探针一 F ,21n2,/.F(S ,士丛丛丛士圣经:,S , .S ,当各探针间距相差较小时，上述公式可简化为:,_ _ _____ 万、,r..= 1十1.u Sz(1一下) 二“. . “. ..0 ),口,注:公式(7),(a)适用于ws小于或等于，的样品(w为样品厚度),3.5.2 对于正方形排列的探针，由于在两次两方位测量中算出平均值，可以消除探针间距差,距，故不必进行修正.,3.6 探针游移率‘,十组 探 针 间距测量值的标准偏差Q;与相应的探针间距的平均值S，之比值。对于直线形排,列的四探针头有‘、。2、:3三个游移率,100% (9),X,氏we凡,--,价,一3}}(S 一S弓;，)，}’]〕`z (10),式中:i=1,2,3 (探针间距顺序),i为 测 量 组 数,3.7 探针间距相对偏差s;,某个 探针 间距十组测量值的平均值s。与平均探针间距s的相对误差。对于直线形排列的,四探针头有a s S,三个相对偏差,一 3 一,s1/T 10315- 92,-Sx S,100 yo (11),式中:i=1.2,3 (探针间距顺序),技术要求,探 头 按 技术性能为I、I级，按寿命分为A,B,C,D类,4.1 外观结构及一般要求,4.1.1 探头的结构应符合下列原则:结构紧凑合理，探针间距精确，导向精度高，针尖上下滑,动灵活，无卡阻和拖尾现象，保证同一平面上的针尖在同一水平线上。维修更换探头方便.,4.1.2 探头外表面平整、光滑，无划痕、锈蚀现象,4.1.3 探头外表面应有标牌，符号和数据清楚无误,4.1.4 探针材料应采用高速钢、碳化钨、俄钨合金等高硬度耐磨、低阻的金属材料，其内部组,织不得有疏松现象,4.1.5 探头的……
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